Détail d'une collection
Sous-collection Microsystèmes
Éditeur :
Collection :
ISSN :
pas d'ISSN
|
Documents disponibles dans la sous-collection (1)
trié(s) par (Pertinence décroissant(e), Titre croissant(e)) Affiner la recherche
texte imprimé
Michel Labachelerie, Directeur de publication | Paris : Hermès science publications | Traité EGM | 2004Le premier volume présente les procédés de fabrication fondés sur la photolithographie, et qui permettent de réaliser les microstructures en couches minces utilisées pour fabriquer des micromoteurs, des microaccéléromètres ou encore des matrices[...]