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Michel Labachelerie | Paris [France] : Lavoisier | Traité EGEM (Série : Microsystème), Dirigé par : Jean-Pierre goure, Jean-claude sabonnadière | 2004Le second volume présente les procédés de fabrication utilisés dans la réalisation de microsystèmes fondés sur des microstructures électromécaniques " épaisses ", inhabituelles dans le domaine de la microélectronique. La photolithographie utilis[...]
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Michel Labachelerie, Directeur de publication | Paris : Hermès science publications | Traité EGM | 2004Le premier volume présente les procédés de fabrication fondés sur la photolithographie, et qui permettent de réaliser les microstructures en couches minces utilisées pour fabriquer des micromoteurs, des microaccéléromètres ou encore des matrices[...]
