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Michel Labachelerie | Paris [France] : Lavoisier | Traité EGEM (Série : Microsystème), Dirigé par : Jean-Pierre goure, Jean-claude sabonnadière | 2004Le second volume présente les procédés de fabrication utilisés dans la réalisation de microsystèmes fondés sur des microstructures électromécaniques " épaisses ", inhabituelles dans le domaine de la microélectronique. La photolithographie utilis[...]
